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產(chǎn)品詳情

精密XY 平臺 AX型

因采用了精密研磨的斷面高度低的LM導(dǎo)軌與精密滾珠螺桿,，是可高精度的定位給進的精密XY工作臺,。因為是沒有使用專用的中間鞍座的組合，行程在一軸工作臺的組合下可以自由的選擇,。

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對位平臺 CMX型

基座、上位工作臺之間的四個角落,，安裝了將交叉型LM線軌,、交叉滾柱軸承、及精密滾珠螺桿組合起來的模塊,。因采用了這樣的獨特構(gòu)造,，而實現(xiàn)了超薄型構(gòu)造的精密對位平臺。

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 精密XY 平臺 DX型

引導(dǎo)部使用交叉LM導(dǎo)軌CSR型,，驅(qū)動滾珠螺桿配置在CSR型的外側(cè),，是中空無中間鞍座的XY工作臺,。因為中空上位工作臺與中空基座之間的高剛性框架的四邊配置了交叉LM導(dǎo)軌CSR型，因此是簡單,、高剛性,、高度低的構(gòu)造。

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 精密XY 平臺 EX型

因采用了交叉LM線軌CSR型,，是沒有使用中間鞍座構(gòu)造簡單的XY工作臺,。藉由采用將兩軸的馬達固定的特殊構(gòu)造，將動作部的重量降低到極限的輕量化,，可控制XY各軸的慣性力,，因此有優(yōu)越的高速應(yīng)答性。